NT-MDT

ССМ изображение дифракционной решетки, сформированной на кремниевой подложке. Скан размером 3.5x3.5 мкм.

Условия измерения

Дата 21-Дек-1996

Прибор P4-SPM-MDT (16 разрядный ЦАП, сканер 3.5мкм x 3.5мкм)

Мода ССМ контактная мода

Зонд Кантилевер Si₃N₄ с радиусом кривизны 50нм

Измерено А.Беляевым, Научно Исследовательский Институт Физических Проблем & НТ-МДТ, Москва, Россия.
Образец предоставлен А.Бухараевым, Казанский Физико Технический Институт, Россия.

Не опубликовано.