[SOLVER Сканирующий Зондовый Микроскоп]

[Image] ССМ изображение поверхности интегральной схемы. Скан размером 18x16 мкм.

Условия измерения
Дата2-Мар-1996
ПриборP4-SPM-MDT (16 разрядный ЦАП, сканер 20мкм x 20мкм)
МодаССМ контактная мода
ЗондКантилевер Si3N4 с радиусом кривизны 20нм

Измерено А.Беляевым, Научно Исследовательский Институт Физических Проблем & НТ-МДТ, Москва, Россия.

Не опубликовано.

Copyright © 1996, НТ-МДТ
Обратная связь bykovav@ntmdt.zgrad.ru