NT-MDT

ССМ изображение поверхности интегральной схемы. Скан размером 52x48 мкм.

Условия измерения

Дата 5-Июл-1996

Прибор P4-SPM-MDT (16 разрядный ЦАП, сканер 50мкм x 50мкм)

Мода ССМ контактная мода

Зонд Кантилевер Si₃N₄ с радиусом кривизны 20нм

Измерено С.Шикиным, Научно Исследовательский Институт Физических Проблем & НТ-МДТ, Москва, Россия.

Не опубликовано.