NT-MDT

ССМ изображение кремниевой калибровочной решетки (тип решетки - TGZ02). Скан размером 18.5x18.5 мкм.

Условия измерения

Дата 22-Авг-1996

Прибор P4-SPM-MDT (18 разрядный ЦАП, сканер 20мкм x 20мкм)

Мода ССМ контактная мода

Зонд Кантилевер Si₃N₄ с радиусом кривизны 20нм

Измерено С.Нестеровым, Научно Исследовательский Институт Физических Проблем & НТ-МДТ, Москва, Россия.

Не опубликовано.