Основные технические характеристики Solver P7-SPMLS-MDT

Диаметр пластин		До 300 мм
Размер области сканирования		30х30х1.5 мкм3, 60х60х4 мкм3, 100х100х5 мкм3
Разрядность разверток по Х, Y, Z		22
Линейность		не хуже 1%
Моды работы		АСМ, силы трения, резонансная мода с фазовой регистрацией, магнитносиловая мода, мода измерения электрических сил, адгезионная мода
Шаг грубого перемещения стола по Х		1 мкм
Точность возвращения на исходное место по Х		1 мкм
Шаг грубого перемещения на исходное место по		0.001°
Точность возвращения на исходное место по		0.0014°
Разрешение оптического микроскопа		1.5 мкм
Разрешение на мониторе с видеокамерой		2-3 мкм