НТ-МДТ Применение Сканирующего Зондового Микроскопа для контроля качества поверхности

Общая информация
Технические параметры
Основные приемущества и возможности програмного обеспечения
Результаты полученные на P7-SPMLS-MDT

Применение Сканирующего Зондового Микроскопа для контроля качества поверхности, трехмерной визуализации и измерения параметров отдельных питов CD и DVD дисков.

В настоящее время СЗМ является эффективной технологией анализа причин брака при контроле качества и количества годных изделий в производстве цифровых компакт-дисков (CD). Брак в компакт-дисках возникает по таким причинам, как несоответствие шероховатости матрицы стандарту, неправильная форма или профиль пита. Размеры питов и расстояния между ними также являются важными параметрами, влияющими на качество готовой продукции. Применение СЗМ позволяет легко и быстро проводить неразрушающий контроль CD и DVD матриц и реплик с них в процессе производства.

Что дает производителю CD и DVD дисков применение Сканирующего Зондового Микроскопа (СЗМ) для контроля в производстве?

Форма питов влияет не только на штамповку, но и на возможность проигрывать диск. Некачественная штамповка или фотолитография являются причиной наличия питов неодинаковой формы. СЗМ с нанометровой точностью определяет форму пита и его размеры. Глубина пита влияет на читаемость. Неоднородная глубина означает, что либо штамповочная машина работает неправильно, либо сама матрица была сформирована неправильно. СЗМ позволяет легко измерить глубину пита. Ошибки временной развертки вызваны растяжением, сжатием, или короблением дисков. Эти ошибки могут быть легко зарегистрированы существующими диск-ридерами, но причины, вызвавшие эти ошибки могут легко быть выявлены только с помощью СЗМ.

Неправильное прочтение данных бывает вызвано различной длиной питов. Если у питов неодинаковые длины на готовом диске, а не на матрице, то параметры штамповочной машины не соответствуют спецификации, т.е. диск растягивается или сжимается после штамповки. Если эта неодинаковость также присутствует на матрице, значит существуют проблемы с процессом записи на исходную матрицу.

При обнаружении брака в дисках необходимо понять причину брака - кроется ли она в технологии производства дисков, или же брак в матрице. Также при помощи СЗМ можно легко измерить, насколько износилась матрица и понять, можно ли ее использовать для производства следующей партии CD или DVD дисков.

Размер скана: Х:10.5 мкм, Y:8.4 мкм, Z:0.25 мкм

Неправильные профиль и форма пита могут легко просматриваться на экране

Шероховатость поверхности матрицы - важнейшая информация в изготовлении CD продукции

Размер скана: Х:2.4 мкм, Y:2.1 мкм, Z:0.2 мкм

Целая поверхность пластины может быть визуально обследована через оптическую систему, чтобы определить дефектную область. Определенную область матрицы с дефектами можно визуально обследовать и определить причину этих дефектов.

Размер скана: Х:6.0 мкм, Y:7.0 мкм

ССМ изображение Al покрытия компакт-диска (CD)

Параметры сечения могут измерять в окне осциллографа управляющей программы