[UltraSharp Кремниевые решетки]

Руководство пользователя для Кремниеых решеток

| TGX01 | TGT01 | TGZ... | TGG01 |

Кремниевая квадратная решетка с отрицательными углами TGX01
[Image][Image]
Предназначена для определения угла
при вершине острия иглы и для
калибровки пьезосканера вдоль
плоскости образца

Рабочая площадь: 1x1 мм
Радиус кривизны края квадратной
площадки: 10 нм

Кремниевая игольчатая решетка TGT01
[Image] [Image]
Предназначена для определения угла при
вершине острия, формы и радиуса
кривизны иглы, а так же для калибровки
пьезосканера вдоль плоскости образца

Рабочая площадь: 1x1 мм
Радиус кривизны острия иглы: 10 нм

Линейные кремниевые решетки с откалиброванными ступеньками
из оксида кремния TGZ01,
TGZ02, TGZ03
[Image][Image]
Предназначены для калибровки
пьезосканера по вертикали

Рабочая площадь: 3x3 мм
Высота ступенек: 20 нм (TGZ01),
100 нм (TGZ02), 600 нм (TGZ03)

Кремниевая треугольная решетка TGG01
[Image][Image]
Предназначена для калибровки прибора
в плоскости образца, определения
линейности по Z и определения радиуса
кривизны иглы

Рабочая площадь: 3x3 мм
Радиус кривизны острия края: 10 нм

Точные значения всех размеров, помеченных знаком *, указываются
в прилагаемом к каждой упаковке листе спецификаций.

Copyright © 1996, НТ-МДТ
Обратная связь bykovav@ntmdt.zgrad.ru