![[Фланцевый модуль сверхвысоковакуумного зондового микроскопа Solver P7-SPMUHV-MDT]](/uhv/uhv.jpg) | |
Основные особенности: Поле сканирования до 100x100x5 мкм. Pежимы измерения: Сканирующая Туннельная Микроскопия (СТМ); Низкотоковый СТМ; Атомно силовая микроскопия (АСМ); Режим боковых сил; Магнитно-силовая микроскопия (МСМ); Электростатически-силовая микроскопия (ЭСМ); Емкостной режим; Модуляционные методики; Измерение сопротивления растекания; Фазовый контраст. Литография. Измерительная часть располагается в низковакуумной камере, что обеспечивает: - простоту юстировки; - возможность работы в агрессивной среде, поскольку лазер и электронные компоненты располагаются отдельно от образца. Использование антивибрационного стола не требуется, такие как надежная виброзащита позволяет отказаться от его использования. Возможность модифицировать поверхность образца с использованием стандартных сверхвысоковакуумных методик (ионное травление, нагревание и т.д) непосредственно перед измерением, а затем возвратить образец на исходную позицию для дальнейших иследований той же области, что и до модификации с отклонением не превышающие 100нм. Оптическая регистрация отклонения кантилевера (с возможностью использования пьезо кантилевера). CCD камера для наблюдения за образцом, измерительным зондом в процесе сканирования и для облегчения процесса юстировки.
|