[SOLVER Сканирующий Зондовый Микроскоп]

*  Tехнические характеристики
*  Более потробная информация
*  Результаты полученные на
    P7-SPMUHV-MDT
Сверхвысоковакуумный микроскоп
Solver P7-SPMUHV-MDT

[Фланцевый модуль сверхвысоковакуумного зондового микроскопа Solver P7-SPMUHV-MDT]



Основные особенности:
  • Поле сканирования до 100x100x5 мкм.
  • Pежимы измерения:
    Сканирующая Туннельная Микроскопия (СТМ);
    Низкотоковый СТМ;
    Атомно силовая микроскопия (АСМ);
    Режим боковых сил;
    Магнитно-силовая микроскопия (МСМ);
    Электростатически-силовая микроскопия (ЭСМ);
    Емкостной режим;
    Модуляционные методики;
    Измерение сопротивления растекания;
    Фазовый контраст.
  • Литография.
  • Измерительная часть располагается в низковакуумной камере, что обеспечивает:
    - простоту юстировки;
    - возможность работы в агрессивной среде,
      поскольку лазер и электронные компоненты
      располагаются отдельно от образца.
  • Использование антивибрационного стола не требуется, такие как надежная виброзащита позволяет отказаться от его использования.
  • Возможность модифицировать поверхность образца с использованием стандартных сверхвысоковакуумных методик (ионное травление, нагревание и т.д) непосредственно перед измерением, а затем возвратить образец на исходную позицию для дальнейших иследований той же области, что и до модификации с отклонением не превышающие 100нм.
  • Оптическая регистрация отклонения кантилевера (с возможностью использования пьезо кантилевера).
  • CCD камера для наблюдения за образцом, измерительным зондом в процесе сканирования и для облегчения процесса юстировки.

Copyright © 1998, НТ-МДТ
Обратная связь bykovav@ntmdt.zgrad.ru