[SOLVER Сканирующий Зондовый Микроскоп]

*  Общая информация
*  Более потробная информация
*  Результаты полученные на
    P7-SPMUHV-MDT
Сверхвысоковакуумный микроскоп
Solver P7-SPMUHV-MDT


Основные технические характеристики

  • Вакуум 10-11 торр.
  • Размер образца     до [diameter] 25.4 мм толщина до 10 мм;
  • Размер скана        максимальный 100 x 100 x 5 мкм;
                                 минимальный 3 x 3 x 0.5 мкм.
  • Мощная электронника High-Q дает 22 битное разрешение на полном размере скана.
  • Придельное движение сверхвакуумного шагового двигателя по оси Z 30 мм.
  • Вакуумный манипулятор обеспечивает перемещение образца в пределах низковакуумной камеры.
  • Температурный диапазон для тепловой обработки образца:
    300K - 500K;      100K - 700K.
  • Обжиг.

Copyright © 1998, НТ-МДТ
Обратная связь bykovav@ntmdt.zgrad.ru