НТ-МДТ Более потробная информация относительно Solver P7-SPMUHV-MDT

Общая информация

Tехнические характеристики

Результаты полученные на
P7-SPMUHV-MDT

Сверхвысоковакуумный микроскоп
Solver P7-SPMUHV-MDT

Схематичное представление Solver P7-SPMUHV-MDT

Виброзащита обеспечивается тремя пружинами на которых весит модуль микроскопа, соединенный с несущим фланцем посредством сильфонов. Осцилляции гасятся магнитными демпферами Фуко.

Подвод осуществляется сверхвысоковакуумным шаговым двигателем с планетарным редуктором. Использование планетарного редуктора исключает заклинивание подвода в условиях высокого вакуума.

Укрупненный вид модуля виброзащиты Solver P7-SPMUHV-MDT

Двух камерный дезайн:

Камера высокого вакуума:
   - Окна для наблюдения образца;
   - Манипуляторы для загрузки и
     перемещения образца, смены
     кантилеверов и СТМ игл без
     нарушения вакуума;
   - Дополнительные фланцы;
   - Высокий вакуум более 10^-10 торр
     достигается использованием
     криоадсорбционного, ионного
     и сублимационного титанового
     вакуумных насосов.

Камера низкого вакуума:
   - Содержит измерительную головку
     с оптической системой регистрации
     отклонения кантилевера.

Фланцевый модуль сверхвысоковакуумного зондового
микроскопа Solver P7-SPMUHV-MDT

Укрупненный вид модуля подвода образца Solver P7-SPMUHV-MDT

Електронный блок управления Solver P7-SPMUHV-MDT:

22 разрядная электронника High-Q позволяет также устанавливать частату с точностью 0.01Гц, таким образом предоставляя возможность использовать зонды с высокой добротностью с полосой меньше 1Гц(кантилеверов в вакууме)